當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測量儀>>臺階儀>> NS200微觀二維形貌輪廓臺階儀
微觀二維形貌輪廓臺階儀工作時,觸針沿被測表面輕輕滑過,,由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時還沿峰谷作上下運(yùn)動,。觸針的運(yùn)動情況就反映了表面輪廓的情況。其采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,,同時,其集成了超低噪聲信號采集,、超精細(xì)運(yùn)動控制,、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備高測量精度和測量重復(fù)性,。
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)
主要組成部分
1,、測量系統(tǒng)
(1)單拱龍門式設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,,提高了測量精度。
(2)線性可變差動電容傳感器(LVDC),,具有亞埃級分辨率,,13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差,,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征,。
(3)傳感器設(shè)計(jì)使得在單一平臺上即可實(shí)現(xiàn)超微力和正常力測量。測力恒定可調(diào),,以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面,。超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制,實(shí)現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量,。
2,、工件臺
(1)精密的XY平臺結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動旋轉(zhuǎn)臺,可以對樣品的位置以及角度進(jìn)行調(diào)節(jié),三維位置均可以調(diào)節(jié),,利于樣品調(diào)整,。
(2)超高直線度導(dǎo)軌,有效避免運(yùn)動中的細(xì)微抖動,,提高掃描精度,,真是反映工件微小形貌。
3,、成像系統(tǒng)
500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī),,即時進(jìn)行高精度定位測量??梢詫⑻结樀男蚊矆D像傳輸?shù)娇刂齐娔X上,,使得測量更加直觀。
4,、軟件系統(tǒng)
測量軟件包含多個模塊,。
5、減震系統(tǒng)
防止微小震動對測量結(jié)果的影響,,使實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)更加準(zhǔn)確。
中圖儀器NS系列微觀二維形貌輪廓臺階儀用于臺階高,、膜層厚度,、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。應(yīng)用場景適應(yīng)性強(qiáng),,其對被測樣品的反射率特性,、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、太陽能光伏,、光學(xué)加工、LED,、MEMS器件,、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征,,對于相關(guān)材料的評定,、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。
產(chǎn)品功能
1.參數(shù)測量功能
1)臺階高度:能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,,可以準(zhǔn)確測量蝕刻,、濺射、SIMS,、沉積,、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;
2)粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,,分析軟件通過計(jì)算掃描出的微觀輪廓曲線,,可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS,、Rv,、Rp、Rz等20余項(xiàng)參數(shù),;
3)翹曲與形狀:能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,,如在半導(dǎo)體晶圓制造過程中,因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化,,或者類似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑,。
2.數(shù)采與分析系統(tǒng)
1)自定義測量模式:支持用戶以自定義輸入坐標(biāo)位置或相對位移量的方式來設(shè)定掃描路徑的測量模式;
2)導(dǎo)航圖智能測量模式:支持用戶結(jié)合導(dǎo)航圖,、標(biāo)定數(shù)據(jù),、即時圖像以智能化生成移動命令方式來實(shí)現(xiàn)掃描的測量模式。
3)SPC統(tǒng)計(jì)分析:支持對不同種類被測件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析,,針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的變化趨勢,。
3.光學(xué)導(dǎo)航功能
配備了500W像素的彩色相機(jī),可實(shí)時將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示,,進(jìn)行即時的高精度定位測量,。
4.樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能
配備了精密XY位移臺、360°電動旋轉(zhuǎn)平臺和電動升降Z軸,,可對樣品的XYZ,、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié),提高測量精度及效率,。
典型應(yīng)用
性能特點(diǎn)
1.亞埃級位移傳感器
具有亞埃級分辨率,,結(jié)合單拱龍門式設(shè)計(jì)降低環(huán)境噪聲干擾,確保儀器具有良好的測量精度及重復(fù)性,;
2.超微力恒力傳感器
1-50mg可調(diào),,以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面,采用超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制,,實(shí)現(xiàn)無接觸損傷的接觸式測量,;
3.超平掃描平臺
系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,杜絕運(yùn)動中的細(xì)微抖動,,真實(shí)地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌,。
部分技術(shù)參數(shù)
型號 | NS200 |
測量技術(shù) | 探針式表面輪廓測量技術(shù) |
探針傳感器 | 超低慣量,LVDC傳感器 |
平臺移動范圍X/Y | 電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平) |
樣品R-θ載物臺 | 電動,,360°連續(xù)旋轉(zhuǎn) |
單次掃描長度 | 55mm |
樣品厚度 | 50mm |
載物臺晶圓尺寸 | 150mm(6吋),200mm(8吋) |
尺寸(L×W×H)mm | 640*626*534 |
重量 | 40kg |
儀器電源 | 100-240 VAC,,50/60 Hz,200W |
使用環(huán)境
相對濕度:濕度 (無凝結(jié))30-40% RH
溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)
地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)
音頻噪音:≤80dB
空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動)
懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實(shí)際情況隨時更新或修改,,恕不另行通知,,不便之處敬請諒解。
如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢,。